发明名称 薄膜装置之制作法
摘要
申请公布号 TW013771 申请公布日期 1973.10.01
申请号 TW06210407 申请日期 1973.03.23
申请人 西方电器公司 发明人 EDWIN ARTHUR CHANDROSS;THEODORE ARTHUR SHANKOFF
分类号 C23F 主分类号 C23F
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项
地址 瑞士倍斯巿克利贝克街141号