发明名称 VERFAHREN ZUM ZERTEILEN EINER EINE VIELZAHL VON HALBLEITERANORDNUNGEN ENTHALTENDEN HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号 DE2227321(A1) 申请公布日期 1973.12.20
申请号 DE19722227321 申请日期 1972.06.05
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 6000 FRANKFURT 发明人 WILKE, HANS, 7101 UNTERGRUPPENBACH
分类号 B28D5/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/683;(IPC1-7):B28D5/00 主分类号 B28D5/00
代理机构 代理人
主权项
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