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VERFAHREN ZUM ZERTEILEN EINER EINE VIELZAHL VON HALBLEITERANORDNUNGEN ENTHALTENDEN HALBLEITERSCHEIBE
摘要
申请公布号
DE2227321(A1)
申请公布日期
1973.12.20
申请号
DE19722227321
申请日期
1972.06.05
申请人
LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH, 6000 FRANKFURT
发明人
WILKE, HANS, 7101 UNTERGRUPPENBACH
分类号
B28D5/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/683;(IPC1-7):B28D5/00
主分类号
B28D5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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