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发明名称
摘要
申请公布号	JPS49387(B1)	申请公布日期	1974.01.07
申请号	JP19700048400	申请日期	1970.06.04
申请人		发明人
分类号	C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14;H01L21/205;(IPC1-7):B01J17/28	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
主权项
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