| 发明名称 |
Mask assembly for thin film deposition |
| 摘要 |
박막 증착용 마스크 어셈블리를 개시한다. 본 발명은 개구가 형성되며, 개구를 둘러싸는 마스크 프레임;과, 마스크 프레임 상에 장착되며, 제 1 방향으로 연장되는 복수의 제 1 마스크와, 제 1 마스크 상에 배치되며, 하나의 오픈홀 및 적어도 하나의 이물질 배출홀이 형성된 제 2 마스크와, 제 2 마스크 상에 배치되며, 기판이 그 상부에 위치하며, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장되며, 복수의 증착홀이 형성된 제 3 마스크를 구비하는 마스크 유니트;를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160122362(A) |
申请公布日期 |
2016.10.24 |
| 申请号 |
KR20150052076 |
申请日期 |
2015.04.13 |
| 申请人 |
SAMSUNG DISPLAY CO., LTD. |
发明人 |
HONG, JAE MIN;KANG, HYUN SEUNG;KWEN, HA NUL;KIM, JEUNG HOON;KIM, HAN YOUNG;ROH, YOUNG HOON;SEO, JI HYE;JUNG, WOO YOUNG;JI, PIL SEON |
| 分类号 |
H01L51/00;H01L51/56 |
主分类号 |
H01L51/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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