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发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR OPTISCHEN FEHLERAUFFINDUNG AN WERKSTUECKEN OD.DGL. OBJEKTEN
摘要
申请公布号 DE2321532(A1) 申请公布日期 1974.11.14
申请号 DE19732321532 申请日期 1973.04.27
申请人 REMY, ERNST, DIPL.-PHYS. DR., 8000 MUENCHEN 发明人 REMY, ERNST, DIPL.-PHYS. DR.;SIEMENS, HENNING VON, DR.
分类号 G01N21/89;G01N21/90;G02B27/46;(IPC1-7):G01N21/16;G01M11/08 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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