发明名称
摘要
申请公布号 JPS5012664(U) 申请公布日期 1975.02.08
申请号 JP19730063518U 申请日期 1973.05.30
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;G05F1/56;H01L21/822;(IPC1-7):H01L27/04 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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