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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5012663(U) 申请公布日期 1975.02.08
申请号 JP19730063521U 申请日期 1973.05.30
申请人 发明人
分类号 B65G1/07;B65G1/00;B65G59/06;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B65G1/07
代理机构 代理人
主权项
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