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发明名称
摘要
申请公布号	JPS504434(B1)	申请公布日期	1975.02.19
申请号	JP19700057317	申请日期	1970.07.02
申请人		发明人
分类号	H01L29/78;H01L21/283;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/331;H01L21/768;H01L23/522;H01L27/04;H01L29/08;H01L29/73;(IPC1-7):H01L21/31	主分类号	H01L29/78
代理机构		代理人
主权项
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