发明名称
摘要
申请公布号 JPS5039189(A) 申请公布日期 1975.04.11
申请号 JP19740074226 申请日期 1974.06.28
申请人 发明人
分类号 G01J1/02;G01J1/04;H01L31/0232;(IPC1-7):G01J1/04 主分类号 G01J1/02
代理机构 代理人
主权项
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