TEM样品及其制备方法

摘要

本申请提供了一种TEM样品及其制备方法。该制备方法包括：步骤S1，将分散有有机填充物的混合液滴于待制备样品的表面，混合液中有机填充物的重量含量为10～20％；步骤S2，使混合液进入待制备样品中得到预处理TEM样品；以及步骤S3，采用FIB机台处理预处理TEM样品，得到TEM样品。该制备方法首先将有机物分散成混合液，使得有机填充物的浓度和表面张力降低，进而有利于混合液向待制备样品中的扩散，然后将混合液滴于待制备样品的表面，避免了直接涂覆形成的外力造成悬浮结构的移位；在得到预处理TEM样品之后，由于悬浮结构和基体之间实现了实质性连接，因此，在采用FIB机台进行处理时，不会造成对悬浮结构的损害。

主权项

一种TEM样品制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：步骤S1，将分散有有机填充物的混合液滴于待制备样品的表面，所述混合液中所述有机填充物的重量含量为10～20％；步骤S2，使所述混合液进入所述待制备样品中得到预处理TEM样品；以及步骤S3，采用FIB机台处理所述预处理TEM样品，得到所述TEM样品。