VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON ANORGANISCHEM MATERIAL AN DER OBERFLAECHE VON HALBLEITERSCHEIBEN,申请号DE19681696609-传众专利搜索

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发明名称	VERFAHREN ZUM ABSCHEIDEN VON ANORGANISCHEM MATERIAL AN DER OBERFLAECHE VON HALBLEITERSCHEIBEN
摘要
申请公布号	DE1696609(B2)	申请公布日期	1976.03.11
申请号	DE19681696609	申请日期	1968.01.15
申请人		发明人
分类号	C30B25/14;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;H01L23/29;(IPC1-7):H01L21/314	主分类号	C30B25/14
代理机构		代理人
主权项
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