| 摘要 |
1. Сканирующий зондовый микроскоп с методиками измерения Рамановских спектров, содержащий основание (1), на котором установлены оптический микроскоп (2) с модулем первых объективов (3), второй объектив (10) с первым приводом (11), измерительный модуль (20), включающий блоки предварительного сближения (21), зондовый модуль (25), излучающий модуль (30) со вторым приводом (32) и фотодиодный модуль (35) с третьим приводом (37), причем зондовый модуль (25), излучающий модуль (30) и фотодиодный модуль (35) оптически сопряжены друг с другом, установлен также координатный стол (39) с модулем пьезосканера (40) с модулем держателей образцов (45), на котором закреплен образец (50), имеющий возможность сопряжения с зондовым модулем (25), причем модуль первых объективов (3) оптически сопряжен с зондовым модулем (25) и образцом (50), содержащий также спектрометр комбинационного рассеяния (60) и лазер (63, оптически сопряженные с зондовым модулем (25) и образцом (50), отличающийся тем, что в него введен блок подвижки (26), сопряженный с зондовым модулем (25) и XY-позиционер (15), расположенный на основании (1), при этом на XY-позиционере (15) установлен измерительный модуль (20), а модуль пьезосканеров (40) установлен на основании (1).2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в него введен сканирующий ближнепольный оптический микроскопа (90), оптически сопряженный со вторым объективом (10).3. Устройство по п. 2, отличающееся тем, что сканирующий ближнепольный оптический микроскопа (90), оптически сопряжен со спектрометром комбинационного рассеяния (60).4. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что в него введен конфокальный модуль (65) со сканирующим зеркалом (66), при этом спектрометр комбинационного рассеяния (60) и лазер (63) оптически сопряжены с зондовым модулем (25) посредством конфокального модуля (65).5. |
