| 发明名称 |
HANDOTAISOCHINO SEIZOHOHO |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5150656(A) |
申请公布日期 |
1976.05.04 |
| 申请号 |
JP19740124377 |
申请日期 |
1974.10.30 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
IKEDA TAKAHIDE;TAMURA AKIO;SUEHIRO NAOJI;KASHU NOBUYOSHI;TOKUYAMA KON;ISHIKAWA MICHIO |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/31;H01L21/324 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
