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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5131147(B2) 申请公布日期 1976.09.04
申请号 JP19710079401 申请日期 1971.10.11
申请人 发明人
分类号 H01J37/04;G01N23/225;H01J37/244;H01J37/28 主分类号 H01J37/04
代理机构 代理人
主权项
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