发明名称 (B C) ;RADAVKAENNINGSANORDNING FOER MATERIALBANOR FOER DETEKTERING AV FELSTAELLEN
摘要
申请公布号 FI763193(A) 申请公布日期 1977.05.13
申请号 FI19760003193 申请日期 1976.11.08
申请人 ERMIN SICK GMBH OPTIK-ELEKTRONIK 发明人 SICK ERWIN
分类号 H01L21/66;D06H3/08;G01N21/86;G01N21/89;G01N21/892;G01N21/896;G01N21/898;(IPC1-7):G01N/ 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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