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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES HALBLEITERKOERPERS
摘要
申请公布号 DE2659320(A1) 申请公布日期 1977.07.14
申请号 DE19762659320 申请日期 1976.12.29
申请人 GENERAL ELECTRIC CO. 发明人 FUSHING CHANG,MIKE;RICHARD ANTHONY,THOMAS;ELLIS CLINE,HARVEY
分类号 C30B13/02;C30B13/06;H01L21/208;H01L21/24;H01L21/329;H01L21/761;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 C30B13/02
代理机构 代理人
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