VACUUM PROCESSING SYSTEM AND METHOD FOR MOUNTING A PROCESSING SYSTEM

摘要

가요성 기판(260; 560)을 위한 진공 프로세싱 시스템(100)이 제공된다. 프로세싱 시스템은, 가요성 기판을 제공하기 위한 공급 롤, 및 가요성 기판(260; 560)을 저장하기 위한 테이크-업 롤 중 하나를 하우징하도록 적응된 제 1 챔버(110); 가요성 기판을 제공하기 위한 공급 롤, 및 가요성 기판(260; 560)을 저장하기 위한 테이크-업 롤 중 하나를 하우징하도록 적응된 제 2 챔버(120); 상기 제 1 챔버(110)와 상기 제 2 챔버(120; 220; 430; 520) 사이의 유지보수 구역(130); 및 가요성 기판 상에 재료를 증착하기 위한 제 1 프로세스 챔버(140)를 포함하며, 여기에서, 제 2 챔버(140)는 유지보수 구역(130)과 제 1 프로세스 챔버(110) 사이에 제공된다. 유지보수 구역(130)은 제 1 챔버(110)와 제 2 챔버(120) 중 적어도 하나에 대한 유지보수 액세스를 허용한다.