| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ABGLEICHEN VON HALBLEITERBAUELEMENTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2617102(A1) |
申请公布日期 |
1977.10.27 |
| 申请号 |
DE19762617102 |
申请日期 |
1976.04.17 |
| 申请人 |
DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH |
发明人 |
SCHILLING,HARALD |
| 分类号 |
H01L21/3205;H01L23/52;H01L23/525;(IPC1-7):01L21/66;01L21/98;02H9/04 |
主分类号 |
H01L21/3205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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