发明名称 VAPOR GROWTH METHOD OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS52129283(A) 申请公布日期 1977.10.29
申请号 JP19760045942 申请日期 1976.04.21
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KUROKAWA HARUSHIGE
分类号 H01L21/316;H01L21/31 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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