| 摘要 |
본 발명은 재사용이 가능하고 공정 방식에 따른 사용 제한이 없는 나노 쉐도우 마스크를 제조하는 방법에 관한 것으로, 기판 표면에 희생층을 형성하는 단계; 상기 희생층 위에 폴리머 막을 형성하는 단계; 상기 폴리머 막에 집속이온빔으로 나노 패턴을 형성하는 단계; 및 상기 희생층을 제거하는 방법으로 상기 나노 패턴이 형성된 폴리머 막을 상기 기판에서 분리하여 나노 쉐도우 마스크를 제조하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은, 집속이온빔을 이용하여 나노 패턴을 형성한 쉐도우 마스크를 전사하여 사용함으로써, 패턴의 크기 및 형상의 제어가 편리한 집속이온빔 장치로 마스크를 제조하여 증착 공정의 종류에 무관하게 적용이 가능한 쉐도우 마스크를 제조할 수 있는 효과가 있다. 또한, 쉐도우 마스크의 손상 없이 전사함으로써 재전사가 가능하기 때문에서, 반복적인 증착 공정에 하나의 쉐도우 마스크를 재전사하여 사용할 수 있는 효과가 있다. |
