| 摘要 |
증착법에 의한 성막을 행할 경우에 있어서, 원하는 증착 재료만이 증착되는 것을 가능하게 하고, 증착 재료의 이용 효율을 높임으로써 제조 비용을 절감시킴과 동시에, 균일성이 높은 막을 성막하는 것이 가능한 증착용 기판을 제공한다. 기판 위에 개구부를 갖는 반사층을 형성하고, 기판 및 반사층 위에 투광성을 갖는 단열층을 각각 분리 형성하고, 단열층 위에 광흡수층을 각각 형성하고, 광흡수층 위에 재료층을 각각 형성하는 것에 의해 얻어지는 증착용 기판이다. |
