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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5310972(A) 申请公布日期 1978.01.31
申请号 JP19760085143 申请日期 1976.07.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSURUOKA MASAO;WAKUI YOUKOU
分类号 H01L21/283;H01L21/28;H01L21/31;H01L21/56;H01L23/28 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
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