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发明名称 VERFAHREN ZUM NIEDERSCHLAGEN DUENNER HAFNIUMSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DE2736006(A1) 申请公布日期 1978.03.23
申请号 DE19772736006 申请日期 1977.08.10
申请人 RCA CORP. 发明人 LOUIS VOSSEN JUN.,JOHN
分类号 C04B41/88;C23C14/14;C23C14/18;G11B3/46;G11B9/07;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 C04B41/88
代理机构 代理人
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