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发明名称 PROCESS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR STRUCTURES BY SPUTTER ETCHING
摘要
申请公布号 US4082637(A) 申请公布日期 1978.04.04
申请号 US19760730542 申请日期 1976.10.07
申请人 SELENIA-INDUSTRIE ELETTRONICHE ASSOCIATE S.P.A. 发明人 MISIANO, CARLO;DIEDRICH, KARL HEINZ;SIMONETTI, ENRICO
分类号 H01L21/263;H01L21/306;(IPC1-7):C23C15/00 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
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