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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5361285(A) 申请公布日期 1978.06.01
申请号 JP19760136306 申请日期 1976.11.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMURA HIROSHI;HIGUCHI HISAYUKI;IKEDA TAKAHIDE
分类号 H01L21/76;H01L21/306;H01L21/308 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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