发明名称 PIEZOOELECTRIC CRYSTAL FILM OF ZINC OXIDE
摘要
申请公布号 JPS5392498(A) 申请公布日期 1978.08.14
申请号 JP19770006909 申请日期 1977.01.25
申请人 MURATA MANUFACTURING CO 发明人 OGAWA TOSHIO;MASUO TASUKU;NISHIYAMA KOUJI
分类号 C04B35/453;C01G9/02;C23C14/08;C30B28/12;C30B29/16;H01L41/18 主分类号 C04B35/453
代理机构 代理人
主权项
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