| 摘要 |
패브리 페로 간섭 필터(10A)는, 고정 미러(31)와, 공극(S)을 사이에 두고 고정 미러(31)와 대향하도록 배치되며, 정전기력에 의해서 광 투과 영역(11)에서의 고정 미러(31)와의 거리가 조정되는 가동 미러(41)를 구비하고 있다. 가동 미러(41) 중 광 투과 영역(11)을 둘러싸는 포위부(41a)에는, 광 투과 영역(11)을 둘러싸는 복수의 제1 고리 모양 홈(44), 그리고 공극(S)측 및 그 반대측으로 개구하는 복수의 제1 관통공(45)이 형성되어 있다. |
