| 摘要 |
게이트 밸브가 개시된다. 게이트 밸브는 기판이 인입 인출될 수 있도록 기판 이송통로를 선택적으로 개폐하는 밸브는 제1 개폐부재, 제1 개폐부재에 대해서 승강 이동 가능하게 구비되고, 제1 개폐부재와 접촉될 시, 이송통로를 닫도록 구성된 제2 개폐부재, 제2 개폐부재를 승강시키는 구동부, 제2 개폐부재에 가스를 제공하는 주입부, 제2 개폐부재 내부에 형성되며, 주입부에서 제공되는 가스를 안내하는 유로부, 유로부에서 제공되는 가스를 외부로 분사하며, 제2 개폐부재에서 제1 개폐부재와 마주하는 면에 형성되는 분사부를 포함할 수 있다. |
