PROCEDE ET DISPOSITIF DE FORMATION D'UN FAISCEAU ELECTRONIQUE DE TAILLE VARIABLE

摘要

Procédé et dispositif à faisceau électronique.

Des configurations rectilinéaires sont exposées à l'aide d'impacts de faisceaux électroniques de forme variable. Cette forme variable est obtenue en ayant une première ouverture de mise en forme pour le faisceau et en formant l'image de cette première ouverture dans le plan d'une seconde ouverture de mise en forme. En variant la position de l'image de la première ouverture on peut obtenir un impact composite de forme variable dont on forme l'image sur la cible; cela permet d'éviter les superpositions d'impact conduisant à un effet de flou. Peut être utilisé pour la fabrication de circuits intégrés.