发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS53148983(A) 申请公布日期 1978.12.26
申请号 JP19770063355 申请日期 1977.06.01
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 MORI TADASHI;INO MASAYOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L29/06 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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