发明名称
摘要
申请公布号 JPS548372(U) 申请公布日期 1979.01.19
申请号 JP19770080890U 申请日期 1977.06.20
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R1/04;G01R1/06;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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