| 摘要 |
본 발명은 하기 일반식 (1)로 표시되는 중합성 에스테르 화합물에 관한 것이다.(식 중, R은 수소 원자, 불소 원자, 메틸기 또는 트리플루오로메틸기를 나타낸다. R는 산불안정기를 나타낸다. Aa는 탄소수 1∼10의 직쇄상, 분기상 또는 환상의 2가 탄화수소기를 나타내고, 2가 탄화수소기를 구성하는 -CH-가 -O- 또는 -C(=O)-로 치환되어 있어도 좋다. k은 0 또는 1이다.) 본 발명의 중합성 에스테르 단량체는, 파장 500 ㎚ 이하, 특히 파장 300 ㎚ 이하의 방사선에 대하여 우수한 투명성을 갖고, 현상 특성이 양호한 감방사선 레지스트 재료의 베이스 수지를 제조하기 위한 단량체로서 매우 유용하다. |
