| 发明名称 |
DISPOSITIF OPTIQUE A SOURCE COHERENTE POUR LE TRANSFERT RAPIDE DE MOTIFS SUR SUBSTRATS, APPLIQUE A LA REALISATION DE COMPOSANTS ET CIRCUITS A MICROSTRUCTURES |
| 摘要 |
<P>L'invention se rapporte aux dispositifs optiques destinés au transfert de motifs sur une surface photosensible. </P><P>Le dispositif photoreproducteur selon l'invention comprend une source de rayonnement cohérent destinée à fournir pendant une durée déterminée un éclairement de la surface photosensible associée à des moyens de transmission introduisant une modulation de phase du rayonnement destinés à moyenner, pendant le temps d'exposition, les figures d'interférence engendrées par la cohérence du rayonnement </P><P>L'invention s'applique notamment aux machines de transfert par contact, proximité ou projection, aux photorépéteurs de masques et aux photorépéteurs directs.</P>
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| 申请公布号 |
FR2406236(A1) |
申请公布日期 |
1979.05.11 |
| 申请号 |
FR19760037327 |
申请日期 |
1976.12.10 |
| 申请人 |
THOMSON CSF |
发明人 |
GEORGES DUBROEUCQ ET MICHEL LACOMBAT;LACOMBAT MICHEL |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/268;H05K3/00;(IPC1-7):G03F9/00;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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