发明名称 VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG HOCHOHMIGER WANNEN IN CMOS-TECHNIKEN
摘要
申请公布号 DD135952(A1) 申请公布日期 1979.06.06
申请号 DD19780205068 申请日期 1978.04.28
申请人 KOEHLER,ROLAND,DD;PFEIL,MARTIN,DD;JUNGHANS,BERND,DD 发明人 KOEHLER,ROLAND,DD;PFEIL,MARTIN,DD;JUNGHANS,BERND,DD
分类号 (IPC1-7):H01L21/72 主分类号 (IPC1-7):H01L21/72
代理机构 代理人
主权项
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