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发明名称
VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG HOCHOHMIGER WANNEN IN CMOS-TECHNIKEN
摘要
申请公布号
DD135952(A1)
申请公布日期
1979.06.06
申请号
DD19780205068
申请日期
1978.04.28
申请人
KOEHLER,ROLAND,DD;PFEIL,MARTIN,DD;JUNGHANS,BERND,DD
发明人
KOEHLER,ROLAND,DD;PFEIL,MARTIN,DD;JUNGHANS,BERND,DD
分类号
(IPC1-7):H01L21/72
主分类号
(IPC1-7):H01L21/72
代理机构
代理人
主权项
地址
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