| 发明名称 |
DUAL TEMPERATURE HEATER |
| 摘要 |
챔버에서 기판을 가열하기 위한 장치 및 방법이 제공된다. 일 실시예에서, 상기 장치는 상기 기판을 수용하도록 구성된 지지면을 갖는 기판 지지 조립체와, 상기 지지면에 대해 평행한 거리에 기판을 지지하고 상기 지지면에 실질적으로 수직한 기준축에 대해 기판을 센터링하기 위한 복수의 센터링 부재를 포함한다. 상기 복수의 센터링 부재는 지지면의 외주연을 따라 이동가능하게 배치되고, 상기 복수의 센터링 부재는 각각 기판의 외주연 에지와 접촉하거나 이를 지지하기 위한 제 1 단부를 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR101681897(B1) |
申请公布日期 |
2016.12.05 |
| 申请号 |
KR20127006087 |
申请日期 |
2010.07.26 |
| 申请人 |
어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 |
发明人 |
두 보이스, 데일 알.;로차-앨버레즈, 주안 카를로스;바루자, 산지브;바라수브라마니안, 가네쉬;야프, 립예우;주, 지안후아;노왁, 토마스 |
| 分类号 |
H01L21/687;C23C16/458;H01J37/32;H01L21/67 |
主分类号 |
H01L21/687 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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