Gas sensors.

摘要

Die Erfindung bezieht sich auf Gassensoren auf Basis von Metalloxid-Halbleitern, die sehr empfindlich und wenig temperaturabhängig sind. Die Erfindung sieht hierfür Gassensoren vor, bei denen der Metalloxid-Halbleiter auf dem Substrat (1) in Form einer amorphen Metalloxid-Halbleiter-Dünnschicht (2) vorliegt. Das Substrat kann amorph oder kristallin sein. Der Metalloxid-Halbleiter kann mindestens ein Dotierungselement enthalten. Erfindungsgemäße Gassensoren sind zum Nachweis und zur Bestimmung von verschiedenen Schadgasen wie z. B. CO, CnHm, C6H6 und insbesondere Äthanol in Luft und Abgasen geeignet.