| 摘要 |
실시예의 뷰 포트 및 이를 포함하는 잉곳 성장 장치는 챔버 내부와 연결된 홀을 구비하는 바디부; 바디부의 홀에 삽입되어 챔버와 밀봉 상태를 유지하고, 빛을 투과시키는 윈도우; 및 상기 바디부 상에 배치되는 쿨링 워터 퍼지(cooling water purge); 를 포함하여, 챔버로부터 발생되어 윈도우로 향하는 오염원을 증착하여 불순물에 의한 오염을 최소화함으로써 챔버 내부에서 진행되는 잉곳 성장 공정의 관찰 및 성장하는 잉곳의 품질 관리를 용이하게 할 수 있다. |
