发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS551129(A) 申请公布日期 1980.01.07
申请号 JP19780073877 申请日期 1978.06.19
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 MATSUO TAKESHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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