| 摘要 |
【課題】プローブカードの取り扱いを容易に行うことができ、小径化（小型化）したプローブカードにも対応することのできるプローブカードケース等を提供する。【解決手段】プローブカードを収納するためのプローブカードケースであって、前記プローブカードを所定位置に載置可能とされた第１ケース部材と、前記第１ケース部材の上側に嵌合可能とされ、前記プローブカードを固定するためのカード固定機構を有する第２ケース部材と、前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とを固定するためのケース固定機構と、を具備し、前記プローブカードを内部に収納し、前記第１ケース部材と前記第２ケース部材とを固定した状態で搬送可能とされるとともに、前記プローブカードを前記第２ケース部材に固定した状態で、前記第２ケース部材のみと共に前記プローブカードを搬送可能とされたことを特徴とする。【選択図】図１ |
