发明名称 METHOD OF FABRICATING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5559775(A) 申请公布日期 1980.05.06
申请号 JP19780132274 申请日期 1978.10.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TOKUNAGA HIROSHI;NISHIUCHI KOUICHI
分类号 H01L29/08;H01L29/417;H01L29/78 主分类号 H01L29/08
代理机构 代理人
主权项
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