| 发明名称 |
SUBSTRATE BODY FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS PREPARATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5559736(A) |
申请公布日期 |
1980.05.06 |
| 申请号 |
JP19780132254 |
申请日期 |
1978.10.27 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE |
发明人 |
IMAI KAZUO |
| 分类号 |
H01L27/08;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/73;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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