| 发明名称 |
Method for Surface Treatment and Surface Treatment Liquid |
| 摘要 |
본 발명은 특히 실리콘 패턴의 패턴 붕괴를 효과적으로 방지하는 것이 가능한 표면 처리액, 및 그 표면 처리액을 이용하는 표면 처리 방법을 제공한다. 본 발명에 관한 표면 처리액은 발수화제 및 산이미드화물을 함유한다. 또, 본 발명에 관한 표면 처리 방법은 기판 표면에 상기 표면 처리액을 노출시켜, 상기 기판 표면을 소수화하는 것을 포함한다. |
| 申请公布号 |
KR20160117305(A) |
申请公布日期 |
2016.10.10 |
| 申请号 |
KR20160037784 |
申请日期 |
2016.03.29 |
| 申请人 |
TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. |
发明人 |
MORI DAIJIRO;KUMAZAWA AKIRA |
| 分类号 |
G03F7/38;C07C311/03;C07F7/08;G03F7/00;G03F7/30;H01L21/02;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/38 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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