| 摘要 |
막 두께의 측정 결과를 성막 공정에 곧바로 반영시킬 수 있는 박막 제조 장치와 박막 제조 방법을 제공한다. 하나의 성막 유닛 (11) 의 성막실 (22) 내에서 성막 대상물에 패터닝된 박막을 형성한 후, 다른 성막 유닛 (11) 의 성막실 (22) 로 이동시켜 패터닝된 다른 박막을 형성할 때에, 성막 유닛 (11) 사이에 위치하는 제 1 또는 제 2 이동실 (21, 23) 중에서, 형성된 박막 중, 성막 대상물 표면에 접촉하고 있는 측정용 박막의 부분에, 송광부 (32) 로부터 편광을 조사하고, 반사광을 수광부 (33) 에서 수광하여, 엘립소미터에 의해 박막의 막 두께를 구한다. 측정 결과가 이상값인 경우에는, 이상값을 나타내는 박막을 형성하는 성막실 (22) 의 운전을 정지시킨다. 복수의 성막실 (22) 에서 상이한 박막을 형성할 때에, 각 박막의 측정용 부분은 이간되어 위치하도록 마스크를 형성해 두면, 2 층 이상의 박막 형성 후에도 막 두께 측정을 실시할 수 있다. |
