| 发明名称 |
OPTISCHES ABBILDUNGSSYSTEM MIT EINEM OPTOELEKTRONISCHEN DETEKTIONSSYSTEM ZUR BESTIMMUNG EINER ABWEICHUNG ZWISCHEN DER BILDFLAECHE DES ABBILDUNGSSYSTEMS UND EINER ZWEITEN FLAECHE, AUF DER ABGEBILDET WIRD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE3021622(A1) |
申请公布日期 |
1980.12.18 |
| 申请号 |
DE19803021622 |
申请日期 |
1980.06.09 |
| 申请人 |
N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN |
发明人 |
WITTEKOEK,STEFAN;ADOLPHUS FAHNER,THEODORUS |
| 分类号 |
H01L21/30;G02B7/28;G02B7/32;G03F7/20;G03F7/207;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):G02B7/04 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
