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发明名称
摘要
申请公布号
JPS562432(B2)
申请公布日期
1981.01.20
申请号
JP19760136336
申请日期
1976.11.15
申请人
发明人
分类号
H05K3/18;C23C18/16;C23C18/18;C23C18/20;C23C18/30;C23C18/31;C23C18/40;H01S3/00
主分类号
H05K3/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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