| 发明名称 |
ARTIFICIAL GRAPHITE SUBSTRATE FOR SILICON CARBIDE OR SILICON NITRIDE COATING AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5617913(A) |
申请公布日期 |
1981.02.20 |
| 申请号 |
JP19790091374 |
申请日期 |
1979.07.18 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO |
发明人 |
YAMAZAKI TAKU;HOSHINA TAKEMI;UESHIMA NOBUYUKI |
| 分类号 |
C04B35/52;C01B31/04;C04B41/87;H01L21/22 |
主分类号 |
C04B35/52 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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