发明名称 MICROSCOPE STAGE MOVING METHOD
摘要
申请公布号 JPS5630114(A) 申请公布日期 1981.03.26
申请号 JP19790105896 申请日期 1979.08.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 ARITOMI TOSHIAKI
分类号 G02B21/26 主分类号 G02B21/26
代理机构 代理人
主权项
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