| 摘要 |
와이어 텐셔너(36)에는 와이어(28)가 관통하는 와이어 통로(38)가 형성된다. 와이어 통로(38)는 압축 기체가 유입하는 유입구(42)와, 유입구(42)보다 상측에 설치되고, 압축 기체를 배출하는 제1 배출구(44)와, 유입구(42)보다 상측에 설치되고, 와이어 통로(38) 내의 면적을 축소한 제1 축류부(46)와, 유입구(42)보다 하측에 설치되고, 와이어 통로(38) 내의 면적을 축소한 제2 축류부(48)와, 제2 축류부(48)보다 본딩 툴측에 설치되고, 본딩 툴측으로의 압축 기체의 흐름을 축소시키는 제3 축류부(58)를 포함한다. 또한 와이어 통로(38)는 제2 축류부(48)보다 하측에 설치되고, 압축 기체를 배출하는 제2 배출구(50)를 포함한다. 이것에 의해 와이어(28)에 텐션을 부여하면서 와이어 통로(38)의 하단부(38b)로부터 배출되는 압축 공기를 대폭 감소시킬 수 있다. 이것에 의해 본딩 툴측으로의 영향을 억제하는 와이어 텐셔너를 제공한다. |
