发明名称 CATHODE PART OF MAGNETRON TYPE SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS575871(A) 申请公布日期 1982.01.12
申请号 JP19800080221 申请日期 1980.06.16
申请人 ANELVA CORP 发明人 FUNAKI HIDEFUMI
分类号 C23C14/36;C23C14/35;H01J37/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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