发明名称 2D Optical device including 2D materials and method of manufacturing the same
摘要 2D 물질을 포함하는 광학소자와 그 제조방법에 관해 개시되어 있다. 개시된 광학소자는 하부 채널층 상에 형성된 배리어 적층물과, 상기 배리어 적층물 상에 형성된 상부 채널층과, 상기 하부 채널층에 연결된 드레인 전극과, 상기 기판 상에 형성된 소스 전극을 포함하고, 상기 배리어 적층물은 제1 배리어층과, 상기 제1 배리어층 상에 구비된 배리어층을 포함하고, 상기 제1 배리어층과 상기 제2 배리어층 사이에 상기 소스 전극에 연결된 채널부를 포함한다. 상기 배리어 적층물은 상기 제2 배리어층 상에 적어도 1개 이상의 배리어층을 더 포함하고, 상기 배리어 적층물에 포함된 배리어층들 사이에 상기 드레인 전극에 연결되는 채널층과 상기 소스전극에 연결되는 채널부가 교번 적층될 수 있다.
申请公布号 KR20160142193(A) 申请公布日期 2016.12.12
申请号 KR20150078239 申请日期 2015.06.02
申请人 삼성전자주식회사 发明人 허진성;이기영;이재호;이상엽;이은규;박성준
分类号 H01L27/14;G01J1/02 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
主权项
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